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Schmelztemperaturmessung bei der Einkristallzüchtung
Nach dem üblichen Czochralski-Verfahren werden Einkristalle aus einer hochreinen Silizium-Schmelze gezogen und dann in 0,2-0,5 µm dicke Wafer gesägt. Während des Schmelzprozesses des hochreinen Siliziums überwacht ein Quotienten-Pyrometer des Typs ISQ 5 von oben die Temperatur von etwa 1450°C im Kessel.
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Prozess
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Besonderheiten
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empfohlene
Pyrometer
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| Messung im Schmelzofen |
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optional: Pyrometer mit TV-Ausgang zur visuellen Betrachtung
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ISQ 5
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