Erstarrung der Schmelze nach dem VGF-Verfahren

Das polykristalline Reinsilizium wird in einem Quarztiegel mit Hilfe einer Widerstandsheizung eingeschmolzen. Die langsame Abkühlung, bei der sich große Zonen gleichgerichteter Kristalle ausbilden, findet im Schmelztiegel statt. Die geheizte Zone (Temperaturgradient) wird langsam von unten nach oben verschoben, so dass sich im oberen Bereich bis zum Ende des Prozesses flüssiges Silizium befindet, während vom Tiegelboden her die Erstarrung zu multikristallinem Material erfolgt. Die Kristallisation wird durch die Verschiebung des Temperaturgradienten kontrolliert.