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Erstarrung der Schmelze nach dem Brigman-Verfahren
Das polykristalline Reinsilizium wird in einem Quarztiegel mit Hilfe einer Widerstandsheizung eingeschmolzen. Die langsame Abkühlung, bei der sich große Zonen gleichgerichteter Kristalle ausbilden, findet im Schmelztiegel statt. Beim Brigman-Prozess wird der Tiegel mit der Schmelze durch das Temperaturfeld bewegt. Die Erstarrung zu multikristallinem Material erfolgt vom Tiegelboden her.
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Prozess
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Besonderheiten
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empfohlene
Pyrometer
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| Erstarrung der Schmelze nach dem Brigman-Verfahren |
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hohe Reproduzierbarkeit
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ISQ 5
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